DQRF射频电源调频装置电源

半导体射频电源是专为半导体与泛半导体领域、医疗设备以及工业领域等应用而设计的高频电源设备。其本质是等离子体配套电源，在低压或常压下产生等离子体，并利用等离子体不同的化学性能，广泛应用于半导体工艺设备(PVD、PECVD、刻蚀、离子注入清洗)、LED、光伏、医疗等领域。DQRF-3-13.56产品为全固态半导体射频电源，采用新型功率半导体器件，具有稳定可靠的功率放大器和功率合成技术。工作频率为13.56MHz，额定功率为3KW，主要应用包括射频溅射，离子刻蚀，射频偏置，等离子体表面处理和电感耦合等离子体系统等。

触控显示屏控制，操作方便直观；采用高效能源转换技术，提供可靠的高功率输出；电路系统设计和控制策略优化，具有稳定可靠的工作特性；集成智能保护机制，保障设备和系统的安全运行；采用模块化设计，简化设备维护流程；实时检测设备运行数据，确保系统正常运行并延长使用寿命；适应不同场景下的需求变化，提供定制化的解决方案。

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优势与特点

能量密度：体积小、电源效率高

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市场适配度：先进扫频与动态脉冲特性，精确匹配半导体工艺要求

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易维护性：运行参数实时显示，状态自诊断，便于用户管理和维护

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技术参数

技术参数
最高输出功率		3000W CW 负载为50欧姆
功率范围		30-3000W连续可调
最大反射功率	W	600
工作频率	MHz	13.56±5% 支持扫频
负载阻抗	Ω	50
射频功率控制模式		P forward, P delivered or Process feedback
射频功率控制精度		±1% of setpoint or ±0.1% of full rated power
功率上升时间	ms	< 10
功率关断时间	ms	< 1
脉冲模式		支持多级脉冲
脉冲上升时间（10%爬升至90%)	μs	< 2
脉冲下降时间	μs	< 2
脉冲频率范围		0Hz~50kHz
占空比范围		0.1%-99.9%
脉冲级数		4级
调频工作模式下匹配时间	μs	< 100
谐波	dBc	< -40
杂散	dBc	< -50
输出连接		50欧姆7/16型同轴连接器母头
远控接口		串口，网口，EtherCAT
多台射频电源同步连接		SMA 母头
CEX输入输出电平		TTL
保护功能		DC电源过流保护，驻波保护，过温保护
冷却方式		水冷和强制风冷
空气冷却		最小空气流量为150m3/h，空气温度为5-40摄氏度
水冷却		冷却水流量大于5lpm，冷却水压力大于2bar
尺寸（长X宽X高）	mm	583271132
安装间距	mm	100(上下左右前后所有面)
输入电压		380VAC或者208VAC 三相电
输入电流		20A 满功率
输入频率	Hz	50~60
功率因数		95%
整机效率		>70%（满功率，50Ω负载）

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