DQRF射频电源调频装置电源
半导体射频电源是专为半导体与泛半导体领域、医疗设备以及工业领域等应用而设计的高频电源设备。其本质是等离子体配套电源，在低压或常压下产生等离子体，并利用等离子体不同的化学性能，广泛应用于半导体工艺设备(PVD、PECVD、刻蚀、离子注入清洗)、LED、光伏、医疗等领域。DQRF-3-13.56产品为全固态半导体射频电源，采用新型功率半导体器件，具有稳定可靠的功率放大器和功率合成技术。工作频率为13.56MHz，额定功率为3KW，主要应用包括射频溅射，离子刻蚀，射频偏置，等离子体表面处理和电感耦合等离子体系统等。
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触控显示屏控制，操作方便直观；采用高效能源转换技术，提供可靠的高功率输出；电路系统设计和控制策略优化，具有稳定可靠的工作特性；集成智能保护机制，保障设备和系统的安全运行；采用模块化设计，简化设备维护流程；实时检测设备运行数据，确保系统正常运行并延长使用寿命；适应不同场景下的需求变化，提供定制化的解决方案。
优势与特点
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能量密度：体积小、电源效率高
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市场适配度：先进扫频与动态脉冲特性，精确匹配半导体工艺要求
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易维护性：运行参数实时显示，状态自诊断，便于用户管理和维护
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技术参数
| 技术参数 | |
| 最高输出功率 | 3000W CW 负载为50欧姆 |
| 功率范围 | 30-3000W连续可调 |
| 最大反射功率 | 600W |
| 工作频率 | 13.56MHz±5% 支持扫频 |
| 负载阻抗 | 50Ω |
| 射频功率控制模式 | P forward, P delivered or Process feedback |
| 射频功率控制精度 | ±1% of setpoint or ±0.1% of full rated power |
| 功率上升时间 | < 10ms |
| 功率关断时间 | < 1ms |
| 脉冲模式 | 支持多级脉冲 |
| 脉冲上升时间（10%爬升至90%) | < 2μs |
| 脉冲下降时间 | < 2μs |
| 脉冲频率范围 | 0Hz~50kHz |
| 占空比范围 | 0.1%-99.9% |
| 脉冲级数 | 4级 |
| 调频工作模式下匹配时间 | < 100μs |
| 谐波 | < -40dBc |
| 杂散 | < -50dBc |
| 输出连接 | 50欧姆7/16型同轴连接器 母头 |
| 远控接口 | 串口，网口，EtherCAT |
| 多台射频电源同步连接 | SMA 母头 |
| CEX输入输出电平 | TTL |
| 保护功能 | DC电源过流保护，驻波保护，过温保护 |
| 冷却方式 | 水冷和强制风冷 |
| 空气冷却 | 最小空气流量为150m3/h，空气温度为5-40摄氏度 |
| 水冷却 | 冷却水流量大于5lpm，冷却水压力大于2bar |
| 尺寸（长X宽X高） | 583mm*271mm*132mm |
| 安装间距 | 100mm(上下左右前后所有面) |
| 输入电压 | 380VAC或者208VAC 三相电 |
| 输入电流 | 20A 满功率 |
| 输入频率 | 50Hz~60Hz |
| 功率因数 | 95% |
| 整机效率 | >70%（满功率，50Ω负载） |
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